选择性湿法刻蚀制备内嵌碳纳米管的沟槽结构

选择性湿法刻蚀制备内嵌碳纳米管的沟槽结构

赵华波,张朝晖

Embedding Carbon Nanotubes into Nano-Trenches by Selective Wet Etching

ZHAO Huabo,ZHANG Zhaohui

北京大学学报（自然科学版） . 2012, (3): 354 -358 .