摘要: 研究了场效应纳电子晶体管构造过程中金属电极的结构设计,源-漏电极高度、SiO2绝缘层厚度以及金属电极选材等因素对器件性能有关键的影响。在此基础上测量了单壁碳纳米管束的场效应行为,构造成功基于单壁碳纳米管束的场效应晶体管。
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邓楠,张琦锋,李萍剑,申自勇,侯士敏,吴锦雷. 场效应纳电子晶体管的构造和电学特性测量[J]. 北京大学学报(自然科学版).
DENG Nan,ZHANG Qifeng,LI Pingjian,SHEN Ziyong,HOU Shimin,WU Jinlei. Design of Field-Effect Nano-Transistors and Measurement of Their Electrical Property[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Pekinensis.