响应表面方法与模拟相结合用于埋沟道PMOS器件性能优化

北京大学学报（自然科学版）

响应表面方法与模拟相结合用于埋沟道PMOS器件性能优化

甘学温¹,WALTON A J²

¹北京大学微电子学研究所，北京，100871;²爱丁堡大学电子工程系，爱丁堡，英国，EH9 3JL

收稿日期:1995-12-22 出版日期:1996-09-20 发布日期:1996-09-20

The Application of Combining RSM Experiment Design and Simulation to the Optimisation of a Burried Channel PMOS Device

GAN Xuewen¹, WALTON A J²

¹Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing 100871; ²Department of Electrical Engineering, University of Edinburgh, Edinburgh, EH9 3JL, UK

Received:1995-12-22 Online:1996-09-20 Published:1996-09-20

摘要/Abstract

摘要： 响应表面方法与TCAD相结合是一个极具潜力的有用技术，它可以极大地减少研制和优化IC工艺的时间和成本。本文介绍了用响应表面的实验设计与模拟相结合获得模型方程并用于工艺优化的方法和优点。D-优化的设计方法和其他措施结合改善模型拟合精度，得到的响应表面用于对亚微米埋沟道PMOS器件性能进行预测和优化。用响应表面得到优化的工艺条件，在此条件下由响应表面预测的结果与模拟结果取得了很好的一致。

关键词: 实验设计, 控制因素, 响应表面, 模型拟合, 优化

Abstract: The combination of RSM and TCAD is a potentially useful technique to reduce the time and cost in developing and optimising IC processes. The methodology and advantage of combining experiment design and simulation to obtain model equations that are used in the optimisation of IC process havebeen demonstrated. D-optimal design, together with other strategies, were employed to improve the model fit. The resulting response surfaces were used in the prediction and optimisation of device characteristics for a sub-micron burried p-channel MOSFET. The predicted results obtained from the response surfaces agreed well with the simulated results at the optimum process conditions.

Key words: design of experiment, control factors, response surface, model fit, optimisation

中图分类号:

TN402

甘学温,WALTON A J . 响应表面方法与模拟相结合用于埋沟道PMOS器件性能优化[J]. 北京大学学报（自然科学版）.

GAN Xuewen,WALTON A J. The Application of Combining RSM Experiment Design and Simulation to the Optimisation of a Burried Channel PMOS Device[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Pekinensis.

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[1]	王亚俐, 柏旭波, 孙娟娟. 甲醛法处理兰炭废水反应条件的优化[J]. 北京大学学报自然科学版, 2024, 60(1): 183-187.
[2]	路庆玲, 刘悦忻, 高阳, 张中浩, 崔立晗, 孙烯熳. 基于要素流动视角的休闲农业全域旅游实现路径——以重庆市为例[J]. 北京大学学报自然科学版, 2023, 59(3): 523-531.
[3]	杨流松, 姚文莉, 薛世峰. 粒子群优化算法在具有奇异位置的多体系统动力学中的应用[J]. 北京大学学报自然科学版, 2021, 57(5): 795-803.
[4]	杨顺顺. 纳入部门转移责任的用能权交易配额优化研究[J]. 北京大学学报自然科学版, 2021, 57(5): 951-962.
[5]	左正康, 张飞舟, 张玲, 孙逸渊, 张瑞华, 于田, 陆建忠. 基于时空分布式的CMIP5气候多模式集合优化[J]. 北京大学学报自然科学版, 2020, 56(5): 805-814.
[6]	高鑫, 史书毓, 李方廷. 前列腺癌的演化动力学模型以及治疗策略的优化[J]. 北京大学学报自然科学版, 2019, 55(6): 987-994.
[7]	杨鹏, 晏磊, 赵守江, 晏艺真, 赵红颖. 基于微透镜阵列的全光相机影像连续深度图构建[J]. 北京大学学报自然科学版, 2018, 54(5): 951-960.
[8]	林心宜, 严睿, 赵东岩. 融合词、句层级信息的抽取式摘要优化框架[J]. 北京大学学报（自然科学版）, 2018, 54(2): 229-235.
[9]	贺泽亚, 吴必虎, 刘瑜. 基于社交网络签到数据的城市空间相互作用和节点吸引力研究[J]. 北京大学学报自然科学版, 2017, 53(5): 862-872.
[10]	蒙吉军, 王晓东, 周朕. 干旱区景观格局综合优化: 黑河中游案例[J]. 北京大学学报自然科学版, 2017, 53(3): 451-461.
[11]	柴慧霞, 饶胜, 牟雪洁, 黄琦, 王睿博. 基于灾后重建的国土空间生态优化——以芦山地震灾区灾后重建为例[J]. 北京大学学报（自然科学版）, 2016, 52(6): 1068-1076.
[12]	杨昕, 贺贤华, 毛熙彦, 贺灿飞. 基于城乡联系的农村居民点布局优化研究——以重庆市为例[J]. 北京大学学报（自然科学版）, 2016, 52(2): 336-344.
[13]	滕佳月, 李培峰, 朱巧明. 基于全局优化的中文事件同指消解方法[J]. 北京大学学报（自然科学版）, 2016, 52(1): 97-103.
[14]	赵泽辉,肖建新,邓守伟,罗霞,徐淑娟,姜晓华,程宏岗,陈俊安. 断陷盆地“不对称”火山岩喷发特征与有利储层主控因素探讨[J]. 北京大学学报（自然科学版）, 2014, 50(6): 1035-1043.
[15]	周详,张晓刚,何龙斌,曾辉. 面向行为尺度的城市绿地格局公平性评价及其优化策略---以深圳市为例[J]. 北京大学学报（自然科学版）, 2013, 49(5): 892-898.