高k栅介质SOI nMOSFET正偏压温度不稳定性的实验研究

李哲,吕垠轩,何燕冬,张钢刚

Experimental Study on Positive Bias Temperature Instability of SOI nMOSFETs with High-k Gate Dielectrics

LI Zhe,Lü Yinxuan,HE Yandong,ZHANG Ganggang

北京大学学报（自然科学版） . 2014, (4): 637 -641 .